D07300 - SEMI D73 - Test Method for Positional Accuracy of Capacitive Touchscreen Panel StdVol-Gases 1 The control of parameters

1  The control of parameters

2-0924 (technical revision)

Leach-out procedures referenced within this Guide provide values for both static and dynamic conditions

本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。

The purpose of this Standard is to provide a standardized ‘secure

D07300 - SEMI D73 - Test Method for Positional Accuracy of Capacitive Touchscreen Panel StdVol-Gases 1 The control of parametersThis measurement standard defines test methods for the positional accuracy of touchscreen panels. To help the communication between component material IC and panel manufactures, this Standard provides a testing method that reveals the response performance of touchscreen panels. This Standard is a generic specification for positional accuracy test methods of touchscreen panel including the single point and the straight line. Based on user experiences,